TFT-LCD Glass/Panel基板搬送Robot, 16类
从G4.5 to G10.5, 超过2000台的实绩
产品特点:
模块化设计;
标准化接口;
轻量化设计;
高洁净度密封设计;
→ 高速、平稳、洁净搬运。
→多枚基板同时处理,节省Tact Time。
核心技术:
大型基板搬运振动抑制;
高洁净度密封、净化设计;
基于位置反馈的变加速控制;
故障诊断与预测;
高精度精密加工、组装工艺与检测。